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簡(jiǎn)要描述:奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀(guān)察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被*消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | OLYMPUS/奧林巴斯 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,汽車(chē) | 

多年的顯微鏡開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀(guān)察性能
奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀(guān)察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被*消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
作為高度測(cè)量的先鋒,繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量
共聚焦自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)光路  | 隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量,而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成功開(kāi)發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。  | 
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的***度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
測(cè)量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
STM7測(cè)量顯微鏡設(shè)計(jì)注重易用性
提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小
 
[常見(jiàn)問(wèn)題] 
短測(cè)量行程無(wú)法滿(mǎn)足較大樣品的測(cè)量需求。
目前為止,大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品來(lái)補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí),效率不高。
由于可測(cè)量的范圍窄,無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上,以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。
 
[STM7解決方案]
共有四種*的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用,分別為:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
Ÿ 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。更多詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢(xún)上海富萊光學(xué)、奧巴儀器。
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀(guān)察
[常見(jiàn)問(wèn)題]
大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以測(cè)量物鏡或金相物鏡,無(wú)法同時(shí)滿(mǎn)足多種觀(guān)察要求。
[STM7解決方案]
奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡可以通過(guò)安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過(guò)這種方式,無(wú)論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶(hù)選擇*的觀(guān)察方法。
 
測(cè)量物鏡
由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離,因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候,無(wú)需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測(cè)量物鏡的低倍率能力,可以一次觀(guān)察到較大的視場(chǎng)。
金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀(guān)察能力。更重要的是,在明場(chǎng)觀(guān)察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng),偏光和微分干涉觀(guān)察。
奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡規(guī)格
  | 小型手動(dòng)鏡架  | 小型電動(dòng)鏡架  | 中型手動(dòng)鏡架  | 中型電動(dòng)鏡架  | 大型手動(dòng)鏡架  | 大型鏡架  | ||
顯微鏡  | 
  | 垂直移動(dòng)范圍  | 175 mm  | 145 mm  | ||||
zui大的測(cè)量高度  | 120 mm(配備測(cè)量物鏡)  | 90 mm(配備測(cè)量物鏡)  | ||||||
Z軸測(cè)量分辨率  | 0.1 μm  | |||||||
Z軸驅(qū)動(dòng)方法  | 手動(dòng)同軸  | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng):  | 手動(dòng)同軸  | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng):  | 手動(dòng)同軸  | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng):  | ||
照明  | LED照明  | 白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明  | ||||||
鏡筒  | 正像單目鏡筒,正像三目鏡筒(100:0/0:100)  | |||||||
物鏡  | 測(cè)量顯微鏡用  | MM6-OB系列  | ||||||
金相顯微鏡用  | MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列  | |||||||
目鏡  | MM6-OCC10X (帶十字線(xiàn), FN 22), MM6-O C10X (FN 22)  | |||||||
載物臺(tái)  | 測(cè)量范圍  | STM7-CS50:  | STM7-CS200:  | STM7-CS300:  | ||||
測(cè)量***度  | STM7-CS50: (3+L/50) μm  | (3+4L/200) μm  | (3+6L/200) μm  | |||||
***度保證重量  | STM7-CS50: 5 kg  | 10 kg  | 15 kg  | |||||
計(jì)數(shù)器顯示  | 軸數(shù)  | 3軸  | ||||||
單位  | 毫米/微米/英寸/密耳  | |||||||
zui小分辨率  | 0.1 μm  | |||||||
外形尺寸(寬×長(zhǎng)×高)(mm)  | 466 x 583  | 466 x 583 x 811  | 606 x 762 x 651  | 606 x 762 x 811  | 804 x 1024 x 686  | 804 x 1024 x 844  | ||
重量  | 約84 kg  | 約92 kg  | 約152 kg  | 約159 kg  | 約277 kg  | 約284 kg  | ||
額定功率  | 100-120/220-  | 100-120/220-  | 100-120/220-  | 100-120/220-  | 100-120/220-  | 100-120/220-  | ||
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí),可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離
倍率  | 1x  | 3x  | 5x  | 10x  | 20x  | 50x  | 100x  | ||
物鏡  | |||||||||
測(cè)量物鏡  | MM6-OB系列  | 59.6  | 76.8  | 65.4  | 50.5  | -  | -  | -  | |
金相物鏡  | MPLFLN系列  | 明場(chǎng)  | -  | -  | 20.0  | 11.0  | 3.1  | 1.0  | 1.0  | 
LMPLFLN系列  | 長(zhǎng)工作距離  | -  | -  | 22.5  | 21.0  | 12.0  | 10.6  | 3.4  | |
MPLFLN-BD系列  | 明場(chǎng)/暗場(chǎng)  | -  | -  | 12.0  | 6.5  | 3.0  | 1.0  | 1.0  | |
LMPLFLN-BD系列  | 明場(chǎng)/暗場(chǎng)  | ||||||||
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